硅太阳能电池生产线废水处理及回用工艺浅析
1、概述
尽管太阳能是绿色能源，且太阳能电池厂排放的污染物，与石油、煤炭行业相比，对环境的污染要少很多。但由于目前国内太阳能产业技术落后、政策不完善等原因，电池生产过程在国内仍存在较严重的污染。对电池生产的废水污染的控制是一个不可回避的现实问题。
2、硅太阳能电池的生产废水浓度和性质分析
硅太阳能电池生产中在腐蚀清洗、去磷硅玻璃和石英管清洗等工艺过程中须使用KOH、IPA、铬酸、HF、HCl、H2SO4等化学药品，相应的产生含IPA浓废液废水和含氟废液废水、含铬废水。硅太阳能电池的主要生产工序如下：
清洗：清洗的主要目的是去除硅片上的污物。
制绒：硅晶太阳能电池的制绒工艺是加入铬酸或HNO3、HF、H2SO4的强氧化性溶液将切割后硅片上的污物清除，在硅片上形成减反织构。
扩散：磷扩散是在硅片表层掺入纯杂质原子的过程。
刻蚀、去PSG：利用HF溶液对硅片边缘进行腐蚀，去除硅片边缘的PN结。
去PSG是对刻蚀后硅片上的磷硅玻璃用氢氟酸等清洗的方法进行清除。
等离子化学气相沉积(PECVD)：PECVD被使用来在硅片上沉积氮化硅材料。
丝网印刷：是通过丝网印刷机将银浆或铝浆等导电材料印刷在硅片上。
烧结：该工序通过高温合金的过程，使印刷上的金属电极与硅片连接更牢固。
测试、包装、入库：对电池片的性能指标进行测试，合格则包装入库。
硅太阳能电池的生产流程及产生废水废液的生产段如图1所示。
整个废液的生产过程在清洗和制绒以及去PSG工序段会产生酸碱废水、有机废水和HF废水废液。废水废液情况，以某太阳能单硅片生产线为例，大致如下：
以上的废水量随不同的电池生产工艺各有不同，如采用铬酸进行制绒则生产废水中就会有铬酸废液和铬酸废水的排放。
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